ピエゾを使った精密位置決め装置に関しては「翔栄システム」へお任せください。
	トップページ ＞ 製品案内 ＞ ステージ（クローズ） 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ステージ（クローズ）は以下の種類がございます。 2軸(X,Y軸)ピエゾステージ［クローズドループ制御］ ■ NPXY100A ストローク：100μｍ×100μｍ アパーチャー：Φ40mm ■ NPXY100B ストローク：100μｍ×100μｍ アパーチャー：□68mm ■ NPXY100VC ストローク：100μｍ×100μｍ バキュームプレートタイプ ■ NPXY200A ストローク：200μｍ×200μｍ アパーチャー：Φ40mm ■ RXY9A-A ストローク：9 ×9（m rad）     ▲上に戻る 3軸(X,Y,Z軸)ピエゾステージ［クローズドループ制御］ ■ NPX400 Z100A ストローク： 400μｍ×400μｍ×100μｍ ■ NPXY200 Z25A ストローク： 200μｍ×200μｍ×25μｍ アパーチャー：Φ38mm ■ NPXY100 Z25A スロトーク： 100μｍ×100μｍ×25μｍ ■ NPXY100 Z15B ストローク： 100μｍ×100μｍ×15μｍ アパーチャー：□68mm ▲上に戻る 1軸(X軸)ピエゾステージ［クローズドループ制御］ ■ NPX25A ストローク：25μｍ ■ NPX200A ストローク：200μｍ ■ NPX150Z ストローク：150μｍ ▲上に戻る 1軸(Z軸)ピエゾステージ［クローズドループ制御］ ■ NPZ25A-I ストローク：25μｍ ■ NPZ70A-I ストローク：70μｍ ▲上に戻る AFM性能アップキット ■ AFM性能アップキット 〜取り付けわずか30分！AFMの性能が格段にUP！〜 ▲上に戻る
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