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	トップページ ＞ 製品案内 ＞ 超ロングストロークステージ ＞ クローズドループ制御1軸（X,Y）ステージ ＞ MT105-LM-S 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ 超ロングストロークピエゾステージ クローズドループ制御 1軸ステージ MT105-LM-S MT105-LM-S オプション ● 分解能　0.02μmまで可能 ● クリーンルーム納品仕様可 ● 真空・非磁性対応可 性能仕様 パラメータ 単位   ストローク ｍｍ 30 分解能 μｍ 0.1 位置決め精度 μｍ 1 直進性/平面度 μｍ ±0.5 最大送り速度 ｍｍ/ｓ 250 最大加速度 ｍ/ｓ2 10 最大負荷 Fx N 15 Fy 30 Fz 50 保持力 Ｎ 16 重量 ｇ '9.0 材質 アルミニウム合金黒色仕上げ ベアリング クロスローラーベアリングにより バッククラッシュ無し MT105-LM-S　寸法図 mt105_09.pdf（48KB）
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