ピエゾを使った精密位置決め装置に関しては「翔栄システム」へお任せください。
	トップページ ＞ 製品案内 ＞ ステージ（オープン）＞ ピエゾアクチュエータ ＞ DPTシリーズ 翔栄システムの製品案内です。 下記の一覧より製品をお選びください。 ■ピエゾアクチュエータ サブナノ位置決めを世界で初めて可能にした、ピエゾアクチュエーターの定番！ DPTシリーズ 特長 ● 静電容量変位センサーとピエゾ素子を一体型にする事により、最小ステップ距離0.5nm rmsのフィードバック制御を実現。 ● 極めて高い線形性、再現性とこの種のデバイスでは不可欠な秀でた直進性！！ ● 超高真空対応可能。 クローズドループ制御　サブナノアクチュエータ DPT-C-S（-M,-L） 主な仕様 型式 DPT-C-S DPT-C-M DPT-C-L Range 15μm 35μm 70μm Size 42.2long by 20mmφ 76.7long by 20mmφ 127.8long by 20mmφ Linearity Error 0.1％ 0.15％ 0.15％ Response Time（variable） 1ms 1ms 1ms Noise 1nm rms （0.5nm rms with low noise option） 1nm rms （0.5nm rms with low noise option） 1nm rms （0.5nm rms with low noise option） 形態１／（型番） 内　　　容 DPTコントローラー（CM） アナログ及びデジタル（14bit）入力 ホストユニット（AX101） 1チャンネル専用 ホストユニット（AX301） 最大3チャンネル搭載可能 オプション ローノイズ・ロードリフト・IEEE488インターフェイス・RS232Cインターフェイス 特長 ● スーパーインバーとゼロデュアーを使用した構造 ● 最大レンジ70μm ● 堅固な構造 ● 取り付け、使用が容易 ● OEMアプリケーション用に適したコンパクトサイズ 応用分野 ● ディスク・ドライブ・ヘッドテスター ● マスク、ウエハーチェックのアライメント調整 ● 走査型顕微鏡Z軸制御 ● Optical Cavityの調節 ● 干渉計 オプション CM-LN ローノイズコントロールモジュール CM-LD ロードリフトコントロールモジュール （ロードリフト0±0.25nm℃-1、スタンダードでは0±5nm℃-1） CM-LN-LD ローノイズ、ロードリフトコントロールモジュール ピエゾアクチュエータの製品カタログはこちらから。 ● dpt_catalog.pdf（448KB） ピエゾアクチュエータの製品マニュアルはこちらから。 ● dpt_manual.pdf（1.1MB） PDFファイルをご覧いただくためにはAdobe(R)Reader(R)が必要です。 下のアイコンをクリックし、アドビシステムズ社WEBサイトより無料配布されているAdobe Readerをダウンロードするか、コンピューター関連雑誌の付録CD-ROMなどで入手し、インストールしてください。
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