Feinmess_ピエゾステージ、コントローラ
Fienmess_ピエゾステージはピエゾアクチュエータを用いてナノメートルまたはサブナノメートルの分解能で超高精度な位置決めを実現するモーションデバイスです。構成には、単軸移動用のリニアステージ、平面制御用のXYステージ、角度調整用の回転ステージなどがあり、顕微鏡観察、光学調整、半導体検査、ナノ製造などの分野で不可欠です。
これらのステージは、クローズドループ制御、多軸補間、スクリプトベースの動作設定に対応した高機能コントローラと併用されます。
ご要望について、お気軽にお問い合わせください。
お問い合わせFeinmess_ピエゾステージ
MT53-10-PM
- 2-3軸システム
- マイクロアセンブリ用途に対応
- 高分解能マイクロステージ
モーター数
1 motor
ストーク
10 mm
繰り返し精度
±0.3 μm
最大速度
10 mm/s
最大加速度
0.1 m/s²
最大荷重 Fx
5 N
最大荷重 Fy
8.8 N
最大荷重 Fz
8.8 N
重量
0.1 kg
寸法 LWH
53 × 53 × 20 mm
材質
低歪みアルミ合金、
黒アルマイト処理
KDT105-50-PM
- 幅広い用途に対応可能
- ±0.3 µmの高い繰り返し精度
- 40 × 40 mmの大口径開口部
- 過酷な環境条件にも柔軟に対応
モーター数
1 motor
ストーク (X-axis, Y-axis)
50 × 50 mm
繰り返し精度
±2 counts
回転位置決め精度
±1 μm
最大速度
7.5 mm/s
最大加速度
0.1 m/s²
最大荷重 Fx
5 N
最大荷重 Fy
5 N
最大荷重 Fz
45 N
重量
2.5 kg
寸法 LWH
150 × 150 × 50 mm
開口部
40 × 40 mm
材質
低歪みアルミ合金、
黒アルマイト処理
DT105-NM
- 360°×nの回転範囲
- ±0.0018°の高い繰り返し精度
- 35 × 35 mmの大口径開口部
- 過酷な環境条件にも柔軟に対応
モーター数
4 motors
ストーク
nx360°
繰り返し精度
± 0.0018 deg
回転位置決め精度
± 0.0047 deg
最大移動速度
273 deg/s
最大加速度
3085 deg/s²
最大荷重 Fz
53 N
重量
1.1 kg
寸法 LWH
149 × 105 × 33 mm
開口部
35 mm
材質
低歪みアルミ合金、
黒アルマイト処理
コントローラ
FMC400
FMC400コントローラは、最大8軸の精密制御が可能な高性能モーションコントローラです。直感的なスクリプトで複雑な動作も簡単に設定でき、豊富なI/Oにより外部機器や上位システムと柔軟に連携できます。
- 高機能で構成が簡単なシステム
- 8軸までの動作制御に対応
- 軽負荷向け設計
プロトコル
RS232C(USB), EtherNET
最大軸数
8
ソフトウェアインターフェース
Galil Tools
筐体
19 inch ラック
