ピエゾアクチュエータ

ピエゾアクチュエータは、電圧を加えることで精密な動きを生み出す高性能な駆動デバイスです。セラミックなどの圧電材料に電気を流すと、材料がわずかに伸び縮みします。
この微細な変化を利用することで、ナノレベルの位置制御が可能になります。

ご要望について、お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせ
PSt150/5 VS10
PSt150/７ VS12
PSt150/10 VS15
PSt150/14 VS20
PSt150/20 VS25
PSt1000/35 VS45
タイプ
最大ストローク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(nF)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 150/5/7 VS10
13/9
19
350
50
40
PSt 150/5/20 VS10
27/20
28
800
25
30
PSt 150/5/40 VS10
55/40
46
1600
12
20
PSt 150/5/60 VS10
80/60
64
2400
8
15
PSt 150/5/80 VS10
105/80
82
3200
6
12
PSt 150/5/100 VS10
130/100
100
4000
5
10
タイプ
最大ストーク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(㎌)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 150/7/7 VS12
13/9
19
0.7
120
40
PSt 150/7/20 VS12
27/20
28
1.8
60
30
PSt 150/7/40 VS12
55/40
46
3.6
25
20
PSt 150/7/60 VS12
80/60
64
5.4
15
15
PSt 150/7/80 VS12
105/80
82
7.2
12
12
PSt 150/7/100 VS12
130/100
100
9
10
10
PSt 150/7/120 VS12
160/120
118
11
8
8
PSt 150/7/140 VS12
190/140
136
13
7
6
PSt 150/7/160 VS12
210/160
154
15
6
5
タイプ
最大ストーク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(㎌)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 150/10/20 VS15
27/20
28
3.6
120
30
PSt 150/10/40 VS15
55/40
46
7.2
60
20
PSt 150/10/60 VS15
80/60
64
11
35
14
PSt 150/10/80 VS15
105/80
82
14
25
12
PSt 150/10/100 VS15
130/100
100
18
20
10
PSt 150/10/120 VS15
160/120
118
21
15
8
PSt 150/10/140 VS15
190/140
136
25
14
7
PSt 150/10/160 VS15
210/160
154
28
13
6
PSt 150/10/180 VS15
240/180
172
33
11
5
PSt 150/10/200 VS15
270/200
190
37
10
4
タイプ
最大ストーク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(㎌)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 150/14/20 VS20
27/20
35
7
250
30
PSt 150/14/40 VS20
55/40
53
14
120
20
PSt 150/14/60 VS20
80/60
71
22
70
14
PSt 150/14/80 VS20
105/80
89
30
50
12
PSt 150/14/100 VS20
130/100
107
39
40
10
PSt 150/14/120 VS20
160/120
125
47
35
8
PSt 150/14/140 VS20
190/140
143
55
30
7
PSt 150/14/160 VS20
210/160
161
63
25
6
PSt 150/14/180 VS20
240/180
179
71
22
5
PSt 150/14/200 VS20
270/200
197
80
20
4
タイプ
最大ストーク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(㎌)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 150/20/20 VS25
25/20
37
11
500
28
PSt  150/20/40 VS25
50/40
57
22
250
18
PSt  150/20/60 VS25
75/60
77
33
160
13
PSt  150/20/80 VS25
95/80
97
44
100
11
PSt  150/20/100 VS25
120/100
117
55
80
9
PSt 150/20/120 VS25
150/120
137
66
65
7
PSt  150/20/140 VS25
175/140
157
77
55
6
PSt  150/20/160 VS25
200/160
177
88
50
5
PSt  150/20/180 VS25
230/180
197
100
45
4
PSt  150/20/200 VS25
250/200
217
110
40
3
タイプ
最大ストーク
(㎛)
長さ
(mm)
電気容量
(nF)
剛性
(N/㎛)　
共振周波数
(kHz)　
PSt 1000/35/7 VS45
12/7
33
300
4000
37
PSt 1000/35/15 VS45
27/17
42
800
2000
33
PSt 1000/35/40 VS45
55/40
60
1600
1000
28
PSt 1000/35/60 VS45
80/60
78
2500
600
25
PSt 1000/35/80 VS45
105/80
96
3300
450
21
PSt 1000/35/100 VS45
130/100
114
4100
350
18
PSt 1000/35/125 VS45
160/125
134
4900
300
14
PSt 1000/35/150 VS45
200/150
154
5700
220
7
PSt 1000/35/200 VS45
260/200
194
6500
150
4

カスタム製品

SSL-ACT45-H-SGS-VAC

特徴
仕様
  • 高速動作対応の高容量圧電アクチュエータ
  • 低コスト
  • SGS内蔵で高精度制御
オープンループ範囲
> 60 ㎛ (HV: -30 to 150 V)
オープンクローズループ範囲
> 45 ㎛ (HV: -30 to 150 V)
最大力
200 N
最大引張荷重
100 N
接続ケーブル
1) 2 m Kapton Cable in Vacuum
2) 8 m Air Side
(Flange signal capacity: 9 channels)

SSL-ACT172-VAC-SGS

特徴
仕様
  • 高真空環境での使用に対応
  • 低コスト
  • システム統合に最適化された設計
ストーク
20 ㎛ (0 to 10V)
スケールファクター
2 ㎛ /V
位置ノイズ
13.72 nm/rms
位置モニター
-4 ㎛ /V
線形性
0.5 %
会社情報
会社情報ドキュメント
製品情報
システム製品ユニット製品
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