ピエゾステージ

ピエゾステージ

ピエゾステージは、圧電アクチュエータを駆動源とする高精度な位置決めプラットフォームです。1軸から多軸まで対応可能で、ナノメートル単位の微細な動作制御を実現します。
弊社のピエゾ技術を活用したステージ製品は、精密かつ高速で安定的な動作を実現します。

ご要望について、お気軽にお問い合わせください。

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標準製品

SSL-Z250S
SSL-Z500S
SSL-Z1000S
SSL-Z3000

特徴

省スペースで超ロングストローク
低コスト
装置組み込み用に最適、軽量

パラメータ

SSL-Z250S

SSL-Z500S

SSL-Z1000S

ストーク

250 ㎛(±10%)

500 ㎛ (±10%)

1000 ㎛ (±10%) (0 ~ 150 V)
1600 ㎛ (±10%) (-30 ~ 150 V)

入力電圧

0 ~ 150 V
-30 ~ 150 V

0 ~ 150 V
-30 ~ 150 V

0 ~ 150 V
-30 ~ 150 V

周波数

23.3 Hz

29.4 Hz

15.4 Hz

ケーブルの長さ

1

1

1

サイズ LWH

52x18x26 mm

95x24.5x35.9 mm

139x29x37 mm

重量

120 g

280 g

360 g