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翔栄システム

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翔栄システムの製品案内
翔栄システムの製品案内です。
下記の一覧より製品をお選びください。

■ 超ロングストロークピエゾステージ

クローズドループ制御 1軸ステージ
MT-84-LM、MP-84-LM

MP-84-LM
MT-84-LM


超ロングピエゾステージデモ動画が観れます。こちらをクリック

MT-84-LM
パラメータ 単位 MT84-25-LM MT84-50-LM MT84-100-LM
ストローク ｍｍ 25 50 100
分解能 ｎｍ 5 5 5
位置決め精度 μｍ 3 /フルストローク 3 /フルストローク 3 /フルストローク
直進性/平面度 μｍ 0.5 1.0 2.0
最大送り速度 ｍｍ/ｓ 250 250 250
最大加速度 ｍ/ｓ2 ＞10 ＞10 ＞10
最大負荷 Ｎ 15 15 15
保持力 Ｎ 5 5 5
重量 kｇ 0.6 0.75 1.0
材質 アルミニウム合金黒色仕上げ
ベアリング クロスローラーベアリングにより、バックラッシュ無し

MP-84-LM
MP-84-LM


SSL150Cアンプとプローブ
MP-84-LM

オプション
● XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります
● 真空対応可
● Ｎｏｎ−ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可
● クリーンルーム納品仕様可


MP-84-LM
MP-84-LMコネクタ部
超ロングストロークステージ
MT-84-LM、MP-84-LM　寸法図
詳しい図面を見る
mt84_09.pdf（72KB）


超ロングストロークステージ
接続イメージ
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