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翔栄システムのセンサの選び方
センサをお選びになる場合に、右の表をご参考にして頂くと便利です。

渦電流変位センサ

静電容量変位センサ
■静電容量変位センサの選び方・本体の形状

プローブの
寸法
ターゲットの
最小寸法
[φmm]
Ultlafine Fine
測定レンジ
[μm]
Offset
[μm ]
分解能 線形性
%F.S.
測定レンジ
[μm]
Offset
[μm ]
分解能 線形性
%F.S.
センサ本体の
形状
BW
[Hz]
nm BW
[Hz]
nm
F1 0.8 10 20 100 1.1 0.25
C3,C5,C6 6k 1.5
E1 1.0 25 75 100 3.0 0.15
C3,C5,C6 6k 4.0
D 2.5 10 20 100 0.2 0.15 50 75 100 1.0 0.15
C3,C5,C6 15k 0.4 15k 2.0
C 2.3 10 20 100 0.2 0.20 50 75 100 1.2 0.15
C23,C24 15k 0.4 15k 2.4
B 4.1 50 125 100 1.0 0.20
C23,C24 15k 2.0
A 7.6 50 225 100 0.8 0.20
C1,C2 15k 1.5
H 25
R2

プローブの
寸法
ターゲットの
最小寸法
[φmm]
Standard Extended
測定レンジ
[μm]
Offset
[μm ]
分解能 線形性
%F.S.
測定レンジ
[μm]
Offset
[μm ]
分解能 線形性
%F.S.
センサ本体の
形状
BW
[Hz]
nm BW
[Hz]
nm
F1(※) 0.8 50 50 100 3.8 0.30 80 60 100 6.8 0.85
C3,C5,C6 6k 5.0 6k 9.0
E1(※) 1.0 100 100 100 7.5 0.15
C3,C5,C6 6k 10
D 2.5 250 125 100 4.5 0.10 500 125 100 9.0 0.15
C3,C5,C6 15k 9 15k 18.0
C 2.3 250 125 100 5.0 0.10 500 125 100 9.0 0.20
C23,C24 15k 10 15k 18.0
B 4.1 500 250 100 5.0 0.15 1250 250 100 20.0 0.20
C23,C24 15k 10 15k 40.0
A 7.6 500 500 100 6.0 0.20 2000 250 100 20.0 0.45
C1,C2 15k 12 15k 40.0
H 25 2500 5000 100 100 0.20 6000 3000 100 180 0.25
R2 15k 50 15k 90
(※)最大応答周波数10kHzとなります。

センサ本体の形状

センシングエリア




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